Isegi väikesed temperatuuri, rõhu või puhtuse muutused võivad pooljuhtide tootmise saagist mõjutada. HL Cryogenicsis kavandame iga krüogeense ülekandesüsteemi nii, et see tagaks ühtlase termilise jõudluse ja täieliku puhtuse. See on eriti oluline kriitiliste tööriistade, näiteks söövituse, litograafia ja kiipide jahutussüsteemide puhul.
Ida-Aasia pooljuhtide tehased vajavad midagi muud kui üldised tööstusgaaside rakendused:
Väga madal vibratsioon ja rõhumuutused
Saastumise ohtu pole
Jookseb kogu aeg, 24 tundi ööpäevas, 7 päeva nädalas
See muudab süsteemi projekteerimise palju rangemaks kui enamiku veeldatud maagaasi taristu või tööstuslike gaasitehaste puhul.
Tüüpiline süsteem koosneb järgmisest:
- Minipaakvõi krüogeense allikana lahtiselt ladustamine
- Peamine jaotusvõrkVaakumisolatsiooniga toru
- Paindlikud ühendused, mis kasutavadVaakumisolatsiooniga painduv voolik
- Juhtimiskomponendid, näiteksVaakumisolatsiooniga ventiil
- Faasihaldus läbiVaakumisolatsiooniga faasieraldaja
Stabiilse töö tagamiseks tuleb iga komponent projekteerida täielikult integreeritud süsteemi osana.
Sisukord
1. Inseneri põhimõte: Soojuslekke vähendamine
2. Vaakumi stabiilsus ja pikaajaline jõudlus
3. Rõhu disain ja voolu stabiilsus
4. Vastavus rahvusvahelistele standarditele
●Inseneri põhimõte: Soojuslekke vähendamine
Mis tahes vedela lämmastiku süsteemi peamine eesmärk on takistada soojuse sissetungimist. Soojus liigub läbi:
Juhtivus läbi torude tugede ja materjalide
Kiirgus sisemise ja välimise toru seinte vahel
Vaakumruumis järelejäänud gaasikonvektsioon
MeieVaakumisolatsiooniga toruHL Cryogenicsi süsteemid on loodud looma väga kõrge vaakumitaseme (10⁻⁴ kuni 10⁻⁶ mbar), mis aeglustab oluliselt soojuse ülekandmise viise.
Lõpptulemus on:
Madalam keemiskiirus
Stabiilne rõhutase
Kogu süsteemi parem efektiivsus
Vaakum-isolatsiooniga ventiil
SeeVaakumisolatsiooniga ventiiltagab, et:
Kontrollpunktidesse jõuab vähe soojust
Usaldusväärne eraldamine väga külmades tingimustes
Pikk eluiga väiksema hooldusega
Töö- ja hooldustsüklite ajal on need ventiilid vajalikud süsteemi heas seisukorras hoidmiseks.
●Vaakumstabiilsus ja pikaajaline jõudlus
Meie ühendadesDünaamiline vaakumpumba süsteem, Vaakumisolatsiooniga ventiiljaFaasieraldaja, pakume teile seadistust, mis liigutab vedelat heeliumi tõhusalt ja hoiab kulud madalad. MeieMinipaaks jaPainduvad voolikudLaske meil nii mobiilseid kui ka statsionaarseid töid täpselt hallata.
Krüogeensete süsteemide puhul on vaakumi pikaajaline hoidmine suur probleem. Mikrolekked ja materjali gaaside eraldumine põhjustavad traditsiooniliste staatiliste vaakumsüsteemide rikke.
MeieDünaamiline vaakumpumba süsteemparandab selle järgmiselt:
Jälgige alati vaakumi taset
Vaakumitingimuste regulaarne taastamine
Jõudluse halvenemise peatamine
See tagab vaakumisolatsiooni sama toimimise pika aja jooksul, mis on oluline pooljuhtide tehastele, mis vajavad töökindlust ilma aastatepikkuse seiskamiseta.
Faasieraldajavaakumisolatsiooniga
Vaakum-isoleeritudFaasieraldajaon väga oluline järgmiste jaoks:
Vedela lämmastiku aurustamine
Gaasi sattumise takistamine tundlikele seadmetele
Rõhu ja temperatuuri püsimine allavoolus
See on eriti oluline pooljuhtide tööriistade puhul, kus isegi pisikesed gaasimullid võivad protsesse segi ajada.
Paindlik voolikvaakumisolatsiooniga
Vaakum-isoleeritudPaindlik voolikannab sulle:
Mehaaniline paindlikkus seadmete ühendamiseks
Isoleerivad vibratsioonid
Säilitas isolatsiooni jõudluse
Õigesti konstrueeritud krüogeensed voolikusüsteemid hoiavad jäigad torud pinge all ja muudavad need suure täpsusega keskkondades töökindlamaks.
●Rõhu disain ja voolu stabiilsus ning materjalide valik ja puhtus
Pooljuhtide rakenduste puhul on rõhu stabiilsena hoidmine sama oluline kui temperatuuri stabiilsena hoidmine. Mõned levinumad süsteemi parameetrid on:
Töörõhk: 6–10 baari
Projekteerimisrõhk: 16 kuni 25 baari
Voolutingimused: väga erinevad olenevalt sellest, kui palju tööriista vaja on
Rõhu muutused võivad põhjustada:
Faasi ebastabiilsus (üleminek vedelast olekust gaasilisse olekusse)
Protsessi ebajärjekindlus
Varustus ei tööta
Selle parandamiseks määrasime krüogeense torustiku võrgustiku suuruse hoolikalt ja lisasimeVaakumisolatsiooniga faasieraldajaseadmed voolu ühtlasena hoidmiseks ja vedelfaasi kohaletoimetamiseks.
Õigete materjalide valimine on väga oluline nii jõudluse kui ka puhtuse tagamiseks. Tavaliselt kasutame:
Roostevabast terasest (näiteks SS304/316L) sisetorud
Madala soojusjuhtivusega materjalid tugede jaoks
Mitmekihiline isolatsioon (MLI) suure peegeldusvõimega
Kõik HL Cryogenics süsteemid läbivad pooljuhtide puhtusstandarditele vastava range puhastusprotsessi, mis välistab osakeste saastumise ohu.
●Vastavus rahvusvahelistele standarditele
Ülemaailmse aktsepteerimise ja hankekindluse tagamiseks kavandame süsteeme vastavalt järgmistele standarditele:
- ASMEB31.3
- DIN EN 13480
- Krüogeensete seadmete ISO standardid
See on eriti oluline järgmiste projektide puhul:
- Pooljuhtide rajatised Ida-Aasias
- Tööstusgaasitehased Euroopas
- Kagu-Aasia kõrgtehnoloogilised tootmiskeskused
Meie viimase Taiwani töö käigus elektroonikatootja heaks paigaldasime täismõõdulise vedela lämmastiku süsteemi, kasutadesVaakumisolatsiooniga toru, Vaakumisolatsiooniga painduv voolik,jaDünaamiline vaakumpumba süsteem.
Peamised probleemid, millega tuli tegeleda, olid järgmised:
Kauge varustustee (üle 500 meetri pikk)
Stabiilse rõhu nõue (hälve ±0,2 baari piires)
Katkematu töö
Meie süsteemi kaudu edastatud tulemused:
Soojuskadude vähenemine enam kui 95% võrreldes traditsiooniliste torujuhtmetega
Vedeliku vool ilma faasimuutuseta
Pidev töö 18 kuud säilitatud vaakumtingimustes
●KKK
Alates 1992. aastast on HL Cryogenics spetsialiseerunud kõrgvaakumiga isoleeritud krüogeensete torustike ja nendega seotud tugiseadmete projekteerimisele ja tootmisele, mis on kohandatud klientide mitmekesiste vajaduste rahuldamiseks. Meil on ASME, CE ja ISO 9001 sertifikaadid ning oleme pakkunud tooteid ja teenuseid paljudele tuntud rahvusvahelistele ettevõtetele. Meie meeskond on siiras, vastutustundlik ja pühendunud tipptasemele igas projektis, mida ette võtame.
Vaakumisolatsiooniga/mantliga toru
Vaakumisolatsiooniga/ümbrisega painduv voolik
Faasieraldaja / auruventilaator
Vaakumisolatsiooniga (pneumaatiline) sulgeventiil
Vaakumisolatsiooniga tagasilöögiklapp
Vaakumisolatsiooniga reguleerventiil
Vaakum-isolatsiooniga ühendused külmkastidele ja konteineritele
MBE vedela lämmastikuga jahutussüsteemid
Muud VI-torustikuga seotud krüogeensed tugiseadmed – sealhulgas, kuid mitte ainult, ohutusventiilide komplektid, vedelikutaseme mõõturid, termomeetrid, manomeetrid, vaakummõõturid ja elektrilised juhtkarbid.
Meil on hea meel täita igas suuruses tellimusi – alates üksikutest ühikutest kuni suuremahuliste projektideni.
HL Cryogenicsi vaakumisolatsiooniga torud (VIP) on toodetud vastavalt meie standardile ASME B31.3 survetorustiku koodeksile.
HL Cryogenics on spetsialiseerunud vaakumseadmete tootja, kes hangib kõik toorained ainult kvalifitseeritud tarnijatelt. Saame hankida materjale, mis vastavad klientide soovil konkreetsetele standarditele ja nõuetele. Meie tüüpiline materjalivalik hõlmab ASTM/ASME 300 roostevaba terast, mille pinnatöötlused on näiteks happega peitsimine, mehaaniline poleerimine, läikiv lõõmutamine ja elektropoleerimine.
Sisemise toru suurus ja projekteerimisrõhk määratakse vastavalt kliendi vajadustele. Välimise toru suurus vastab HL Cryogenicsi standardspetsifikatsioonidele, kui klient ei ole teisiti määranud.
Võrreldes tavapärase torustiku isolatsiooniga pakub staatiline vaakumsüsteem paremat soojusisolatsiooni, vähendades klientide gaasistamiskadusid. See on ka kulutõhusam kui dünaamiline VI-süsteem, vähendades projektide jaoks vajalikku alginvesteeringut.
●Seotud postitused
Postituse aeg: 13. aprill 2026
