Vedela lämmastiku jahutussüsteeme kasutatakse laialdaselt pooljuhtide ja kiipide tööstuses, sealhulgas järgmistes protsessides:
- Molekulaarkiirepitaksia (MBE) tehnoloogia
- Kiibi test pärast COB-paketti
Seotud tooted
Vaakumisolatsiooniga torude seeria
Vaakumisolatsiooniga painduvate voolikute seeria
Dünaamiline vaakumpumba süsteem
Vaakumisolatsiooniga faasieraldaja seeria
Vaakumisolatsiooniga ventiilide seeria
Torustiku tugiseadmed
MOLEKULAARKIIRE EPITAKSIAT
Molekulaarkiirepitaksia (MBE) tehnoloogia töötati välja 1950. aastatel pooljuhtõhukeste kilematerjalide valmistamiseks vaakumaurustamise tehnoloogia abil. Ülikõrge vaakumtehnoloogia arenguga on tehnoloogia rakendamine laienenud pooljuhtide teaduse valdkonda.
HL on märganud MBE vedela lämmastiku jahutussüsteemi nõudlust ning on korraldanud tehnilise tugisamba, et edukalt välja töötada spetsiaalne MBE vedela lämmastiku jahutussüsteem MBE tehnoloogia jaoks ja täielik vaakumisolatsiooniga torustikusüsteem, mida on kasutatud paljudes ettevõtetes, ülikoolides ja teadusasutustes.
Pooljuhtide ja kiipide tööstuse levinumad probleemid on järgmised:
- Vedela lämmastiku rõhk terminaliseadmetes. Vältige rõhu ülekoormust terminaliseadmete kahjustuste tõttu.
- Mitmed krüogeense vedeliku sisse- ja väljalaskeava juhtnupud
- Terminaliseadmetesse sattuva vedela lämmastiku temperatuur
- Mõistlik kogus krüogeensete gaaside heitkoguseid
- (Automaatne) pea- ja haruliinide vahetamine
- VIP rõhu reguleerimine (vähendamine) ja stabiilsus
- Paagi puhastamine võimalikest lisanditest ja jääjääkidest
- Terminali vedelike seadmete täitumise aeg
- Torujuhtme eeljahutus
- Vedelikukindlus VIP-süsteemis
- Vedela lämmastiku kadumise kontrollimine süsteemi katkendliku töö ajal
HL vaakumisolatsiooniga torud (VIP) on ehitatud vastavalt ASME B31.3 survetorustiku standardile. Insenerikogemus ja kvaliteedikontrolli võimekus tagavad kliendi tehase efektiivsuse ja kulutõhususe.
LAHENDUSED
HL Cryogenic Equipment pakub klientidele vaakumisolatsiooniga torusüsteeme, mis vastavad pooljuhtide ja kiipide tööstuse nõuetele ja tingimustele:
1. Kvaliteedijuhtimissüsteem: ASME B31.3 survetorustiku kood.
2. Mitme krüogeense vedeliku sisse- ja väljalaskeavaga spetsiaalne faasieraldaja automaatse juhtimisfunktsiooniga vastab gaasiemissiooni, ringlussevõetud vedela lämmastiku ja vedela lämmastiku temperatuuri nõuetele.
3. Piisav ja õigeaegne heitgaaside projekteerimine tagab, et lõppseadmed töötavad alati kavandatud rõhuväärtuse piires.
4. Gaasi-vedeliku barjäär paigutatakse vertikaalsesse VI torusse VI torujuhtme otsa. Gaasi-vedeliku barjäär kasutab gaasitihenduse põhimõtet, et blokeerida kuumus VI torujuhtme otsast VI torustikku ja vähendada tõhusalt vedela lämmastiku kadu süsteemi katkendliku ja vahelduva töö ajal.
5. Vaakumventiilide (VIV) seeria poolt juhitav VI torustik: sisaldab vaakumventiile (pneumaatilisi) sulgeventiile, vaakumventiile, tagasilöögiventiile, vaakumventiile jne. Erinevat tüüpi VIV-sid saab moodulitena kombineerida, et vajadusel VIP-i juhtida. VIV on tootja poolt eelvalmistatud VIP-iga integreeritud, ilma kohapealse isoleerimiseta. VIV-i tihendit saab hõlpsalt vahetada. (HL aktsepteerib klientide määratud krüogeensete ventiilide kaubamärki ja seejärel toodab HL vaakumventiile. Mõnda ventiilide kaubamärki ja mudelit ei pruugi olla võimalik vaakumventiilideks valmistada.)
6. Puhtus, kui sisetoru pinna puhtusele on lisanõuded. Klientidel on soovitatav valida VIP sisetorudeks BA või EP roostevabast terasest torud, et veelgi vähendada roostevabast terasest lekkeid.
7. Vaakumisolatsiooniga filter: Puhastage paak võimalikest lisanditest ja jääjääkidest.
8. Pärast mõnepäevast või pikemat seiskamist või hooldust on väga oluline VI torustikku ja lõppseadmeid enne krüogeense vedeliku sisenemist eeljahutada, et vältida jäätumist pärast krüogeense vedeliku otse VI torustikku ja lõppseadmesse sisenemist. Eeljahutuse funktsiooni tuleks projekteerimisel arvesse võtta. See pakub paremat kaitset lõppseadmetele ja VI torustiku tugiseadmetele, näiteks ventiilidele.
9. Sobib nii dünaamilisele kui ka staatilisele vaakumisolatsiooniga (paindlikule) torustikule.
10. Dünaamiline vaakumisolatsiooniga (paindlik) torustik: koosneb VI painduvatest voolikutest ja/või VI torust, ühendusvoolikutest, vaakumisolatsiooniga ventiilisüsteemist, faasieraldajatest ja dünaamilisest vaakumpumbasüsteemist (sh vaakumpumbad, solenoidventiilid ja vaakumõõturid jne). Üksiku VI painduva vooliku pikkust saab kohandada vastavalt kasutaja vajadustele.
11. Erinevad ühendustüübid: valida saab vaakumbajonettühenduse (VBC) ja keevitatud ühenduse vahel. VBC tüüp ei vaja kohapealset isoleerimist.
