Vedelate lämmastiku jahutussüsteeme kasutatakse laialdaselt pooljuhtide ja kiibitööstuses, sealhulgas protsessis
- Molekulaarkiire epitaksia (MBE) tehnoloogia
- Kiibi test pärast cobi paketti
Seotud tooted
Vaakum isoleeritud torusarjad
Vaakum isoleeritud elastse vooliku seeria
Dünaamiline vaakumpumba süsteem
Vaakum isoleeritud faasi eraldaja seeria
Vaakum isoleeritud klapi seeria
Torustikusüsteemi tugiseadmed
Molekulaarkiire epitaksia
1950ndatel töötati välja molekulaarkiire epitaksia (MBE) tehnoloogia, et valmistada pooljuhtide õhukeseid kilematerjale, kasutades vaakum aurustumistehnoloogiat. Ultra-kõrge vaakumtehnoloogia arendamisega on tehnoloogia rakendamine laiendatud pooljuhtide teaduse valdkonda.
HL on märganud MBE vedela lämmastiku jahutussüsteemi nõudlust, organiseeritud tehnilist selgroogu, et edukalt välja töötada MBE tehnoloogia jaoks spetsiaalne MBE vedela lämmastikusüsteem ja täielik vaakum isoleeritud torustikusüsteemi komplekt, mida on kasutatud paljudes ettevõtetes, ülikoolides, ülikoolides ja uurimisinstituutides .
Pooljuhtide ja kiibitööstuse ühised probleemid hõlmavad
- Vedela lämmastiku rõhk terminaalsesse (MBE) seadmesse. Vältige kahjustavate klemmide (MBE) seadmete rõhu ülekoormust.
- Mitme krüogeense vedeliku sisselaskeava ja väljalaskeava kontrolli
- Vedela lämmastiku temperatuur klemmidesse
- Mõistlik kogus krüogeenseid gaasiheiteid
- (Automaatne) pea- ja haruliinide vahetamine
- Rõhu reguleerimine (vähendamine) ja VIP stabiilsus
- Paagist võimalike lisandite ja jääjääkide puhastamine
- Klemmi vedeliku seadme täitmisaeg
- Torujuhtme eelkoormus
- Vedelik takistus VIP -süsteemis
- Vedela lämmastiku kontrolli kaotamine süsteemi katkendliku teenindamise ajal
HL vaakum isoleeritud toru (VIP) on ehitatud ASME B31.3 rõhutorustiku koodi standardina. Inseneri kogemus ja kvaliteedikontrolli võime tagada kliendi taime tõhusus ja kulutõhusus.
Lahendused
HL -krüogeensed seadmed pakuvad klientidele vaakum isoleeritud torustikusüsteemi, et vastata pooljuhtide ja kiibitööstuse nõuetele ja tingimustele:
1. Kvaliteedi haldussüsteem: ASME B31.3 Rõhutorustik.
2. Spetsiaalse faasi eraldaja, millel on mitme krüogeense vedeliku sisse- ja väljalaskeava automaatse juhtimisfunktsiooniga, vastab gaasiheite, ringlussevõetud vedela lämmastiku ja vedela lämmastiku temperatuuri nõudele.
3.Kasutatud ja õigeaegne heitgaaside kujundus tagab, et terminali seadmed töötavad alati kavandatud rõhu väärtuse piires.
4. Gaasi-vedelik barjäär asetatakse VI torujuhtme lõpus vertikaalsesse VI-torusse. Gaasi-vedelik barjäär kasutab gaasi tihendi põhimõtet, et blokeerida soojust VI torujuhtme otsast VI torustikku ja vähendada tõhusalt vedela lämmastiku kaotust süsteemi katkendliku ja vahelduva teeninduse ajal.
5.Vi torustik, mida kontrollitakse vaakum isoleeritud klapi (VIV) seeriaga: sealhulgas vaakum isoleeritud (pneumaatiline) väljalülitusventiil, vaakum isoleeritud kontrollventiil, vaakum isoleeritud reguleeriv ventiil jne. Erinevat tüüpi VIV-i võib olla modulaarne, et juhtida VIP-i kui VIP-i kontrollimist nõutav. VIV on integreeritud tootja VIP-eelnemispartnereerimisega, ilma kohapealse isoleeritud töötlemiseta. VIV tihendühikut saab hõlpsalt asendada. .
6. Kui sisemise pinna puhtuse jaoks on olemas täiendavad nõuded. Roostevabast terasest leket vähendamiseks on soovitatav, et kliendid valiksid BA või EP roostevabast terasest torud VIP -sisemiste torudena.
7.Vacuum isoleeritud filter: puhastage paagist võimalikud lisandid ja jääjäägid.
8. Pärast mõne päeva või pikemat seiskamist või hooldust on VI torustiku ja klemmide seadmed enne krüogeense vedeliku sisenemist väga vajalik, nii et pärast krüogeenset vedelikku jää räbu vältimiseks siseneb otse VI torustikku ja klemmide. Projekteerimisel tuleks arvestada eelneva funktsiooniga. See pakub paremat kaitset klemmiseadmete ja VI torustiku tugivarustuse, näiteks ventiilide jaoks.
9. Nii dünaamilise kui ka staatilise vaakumi isoleeritud (painduva) torustiku süsteemi jaoks.
10.Dünaamiline vaakum isoleeritud (paindlik) torustikusüsteem: koosneb VI painduvatest voolikutest ja/või VI -torust, hüppajavoolikutest, vaakumisotatud klapisüsteemist, faasieraldajatest ja dünaamilisest vaakumpumba süsteemist (sealhulgas vaakumpumbad, solenoidventiilid ja vaakumpumbad jne. ). Ühe VI painduva vooliku pikkust saab kohandada vastavalt kasutaja nõuetele.
11. Varjatud ühenduse tüübid: Valida saab vaakumühenduse (VBC) tüübi ja keevitatud ühenduse. VBC tüüp ei vaja kohapealset isoleeritud ravi.
