Vedela lämmastikuga jahutussüsteeme kasutatakse laialdaselt pooljuhtide ja kiipide tööstuses, sealhulgas
- Molecular Beam Epitaxy (MBE) tehnoloogia
- Kiibi test pärast COB-paketti
Seotud tooted
Vaakumisolatsiooniga torude seeria
Vaakum-isolatsiooniga painduvate voolikute seeria
Dünaamiline vaakumpumbasüsteem
Vaakumisolatsiooniga faasieraldajate seeria
Vaakumisolatsiooniga ventiilide seeria
Torustikusüsteemi tugiseadmed
MOLEKULAARKIIRE EPITAKSIA
Molecular Beam Epitaxy (MBE) tehnoloogia töötati välja 1950. aastatel pooljuht-õhukeste kilematerjalide valmistamiseks vaakumaurustustehnoloogia abil. Ülikõrgvaakumtehnoloogia arenguga on tehnoloogia rakendamine laienenud ka pooljuhtide teaduse valdkonda.
HL on märganud nõudlust MBE vedela lämmastikuga jahutussüsteemi järele, korrastatud tehnilise selgroo, et edukalt välja töötada spetsiaalne MBE vedela lämmastiku jahutussüsteem MBE tehnoloogia jaoks ja täiskomplekt vaakumisolatsiooniga torustike süsteemi, mida on kasutatud paljudes ettevõtetes, ülikoolides ja uurimisinstituutides. .
Pooljuhtide ja kiipide tööstuse levinud probleemid on järgmised:
- Vedela lämmastiku rõhk terminali (MBE) seadmetes. Vältige rõhu ülekoormust terminali (MBE) seadmete kahjustamisel.
- Mitu krüogeense vedeliku sisse- ja väljalaskeava juhtnuppu
- Vedela lämmastiku temperatuur terminaliseadmetesse
- Mõistlik kogus krüogeensete gaaside heitkoguseid
- (Automaatne) Põhi- ja haruliinide vahetamine
- VIP rõhu reguleerimine (vähendamine) ja stabiilsus
- Võimalike lisandite ja jää jääkide puhastamine paagist
- Terminali vedelseadmete täitmisaeg
- Torujuhtme eeljahutus
- Vedelikukindlus VIP-süsteemis
- Kontrollige vedela lämmastiku kadu süsteemi katkendliku hoolduse ajal
HL-i vaakumisolatsioonitoru (VIP) on standardina ehitatud ASME B31.3 survetorustiku koodile. Insenerikogemus ja kvaliteedikontrolli suutlikkus, et tagada kliendi tehase efektiivsus ja kuluefektiivsus.
LAHENDUSED
HL Cryogenic Equipment pakub klientidele vaakum-isolatsioonitorusüsteemi, mis vastab pooljuhtide ja kiipide tööstuse nõuetele ja tingimustele:
1. Kvaliteedijuhtimissüsteem: ASME B31.3 survetorustiku kood.
2. Automaatse juhtimisfunktsiooniga spetsiaalne faasieraldaja mitme krüogeense vedeliku sisse- ja väljalaskeavaga vastab gaasiheitmete, ringlussevõetud vedela lämmastiku ja vedela lämmastiku temperatuuri nõuetele.
3. Piisav ja õigeaegne väljalaskekonstruktsioon tagab, et lõppseadmed töötavad alati kavandatud rõhu piires.
4. Gaas-vedeliku barjäär asetatakse vertikaalsesse VI torusse VI torujuhtme lõpus. Gas-Liquid Barrier kasutab gaasitihendi põhimõtet, et blokeerida VI torujuhtme otsast VI torustikesse eralduv soojus ja vähendada tõhusalt vedela lämmastiku kadu süsteemi katkendliku ja katkendliku töö ajal.
5.VI torustik, mida juhib vaakum-isolatsiooniga klapp (VIV) seeria: sealhulgas vaakumisolatsiooniga (pneumaatiline) sulgeventiil, vaakumisolatsiooniga tagasilöögiklapp, vaakumiisolatsiooniga reguleerimisklapp jne. Erinevat tüüpi VIV-i saab modulaarselt kombineerida, et juhtida VIP-i nagu nõutud. VIV on integreeritud tootja VIP-eeltöötlusega, ilma kohapealse isolatsioonita töötlemiseta. VIV-i tihendit saab hõlpsasti vahetada. (HL aktsepteerib klientide määratud krüogeensete ventiilide kaubamärki ja seejärel valmistab HL vaakumisolatsiooniga ventiile. Mõne kaubamärgi ja mudeli puhul ei pruugita olla võimalik vaakumisolatsiooniga ventiile valmistada.)
6. Puhtus, kui sisekummi pinna puhtusele on kehtestatud lisanõuded. Soovitatav on, et kliendid valiksid VIP-sisetorudeks BA või EP roostevabast terasest torud, et veelgi vähendada roostevaba terase lekkimist.
7. Vaakumisolatsiooniga filter: puhastage paagist võimalikud lisandid ja jääjäägid.
8. Pärast mõnepäevast või pikemat seiskamist või hooldust on väga vajalik VI torustikku ja terminaliseadmeid enne krüogeense vedeliku sisenemist eeljahutada, et vältida jääräbu tekkimist pärast krüogeense vedeliku otsest sisenemist VI torustikku ja terminaliseadmetesse. Eeljahutusfunktsiooni tuleks projekteerimisel arvesse võtta. See pakub paremat kaitset lõppseadmetele ja VI torustiku tugiseadmetele, nagu ventiilid.
9. Sobib nii dünaamilisele kui ka staatilisele vaakumisolatsiooniga (paindlikule) torusüsteemile.
10. Dünaamiline vaakum-isolatsiooniga (painduv) torusüsteem: koosneb VI painduvatest voolikutest ja/või VI torust, ühendusvoolikutest, vaakum-isolatsiooniga klapisüsteemist, faasiseparaatoritest ja dünaamilisest vaakumpumbasüsteemist (sealhulgas vaakumpumbad, solenoidventiilid ja vaakummõõturid jne). ). Ühe VI painduva vooliku pikkust saab kohandada vastavalt kasutaja vajadustele.
11.Erinevad ühendustüübid: saab valida vaakum bajonettühenduse (VBC) tüübi ja keevisühenduse. VBC tüüp ei vaja kohapealset isolatsioonitöötlust.
