Uudised – viimastel aastatel lõpetatud projekt Chip MBE

Tehnoloogia

Molekulaarkiire epitaksia ehk MBE on uus tehnika kõrgekvaliteediliste õhukeste kristallide kilede kasvatamiseks kristallide substraatidel. Ülikõrge vaakumi tingimustes on kütteahi varustatud igasuguste vajalike komponentidega ja genereerib auru läbi aukude, mis on tekkinud pärast aatomi- või molekulaarkiire kollimeerimist, süstides otse monokristallsubstraadi sobivale temperatuurile, reguleerides molekulaarkiirt. Kui substraati skaneeritakse samal ajal, võib see panna molekulid või aatomid kristallide joonduskihtidesse moodustama substraadi "kasvu" peal õhukese kile.

MBE seadmete normaalseks tööks on vajalik kõrge puhtusastmega, madala rõhu ja ülipuhta vedela lämmastiku pidev ja stabiilne transportimine seadme jahutuskambrisse. Üldiselt on vedela lämmastikuga paagi väljundrõhk vahemikus 0,3 MPa kuni 0,8 MPa. Vedel lämmastik temperatuuril -196 ℃ aurustub torujuhtme transportimisel kergesti lämmastikuks. Kui vedel lämmastik gaasi-vedeliku suhtega umbes 1:700 gaasijuhtmes gaasistatakse, hõivab see suure hulga vedela lämmastiku vooluruumi ja vähendab normaalset voolu vedela lämmastiku torujuhtme lõpus. Lisaks on vedela lämmastiku paagis tõenäoliselt prahti, mida pole puhastatud. Vedela lämmastiku torustikus põhjustab märja õhu olemasolu ka jääräbu teket. Kui need lisandid satuvad seadmesse, põhjustab see seadmele ettearvamatuid kahjustusi.

Seetõttu transporditakse välipaagis olev vedel lämmastik tolmuvaba töökoja MBE seadmetesse kõrge efektiivsusega, stabiilsusega ja puhtana ning madal rõhk, lämmastikuvaba, lisanditeta, 24 tundi katkematult, selline transpordi juhtimissüsteem on kvalifitseeritud toode.

Sobivad MBE seadmed

Alates 2005. aastast on HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) seda süsteemi optimeerinud ja täiustanud ning teinud koostööd rahvusvaheliste MBE seadmete tootjatega. MBE seadmete tootjatel, sealhulgas DCA, REBER, on meie ettevõttega koostöösuhted. MBE seadmete tootjad, sealhulgas DCA ja REBER, on teinud koostööd paljudes projektides.

Riber SA on juhtiv ülemaailmne molekulaarkiirepitaksia (MBE) toodete ja nendega seotud teenuste pakkuja liitpooljuhtide uurimise ja tööstuslike rakenduste jaoks. Riber MBE seade suudab aluspinnale ladestada väga õhukesi materjalikihte väga kõrge kontrolliga. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vaakumseadmed on varustatud Riber SA-ga Suurim seade on Riber 6000 ja väikseim Compact 21. See on heas korras ja on klientide poolt tunnustatud.

DCA on maailma juhtiv oksiid-MBE. Alates 1993. aastast on süstemaatiliselt arendatud oksüdatsioonitehnikaid, antioksüdantse substraadi kuumutamist ja antioksüdantide allikaid. Sel põhjusel on paljud juhtivad laborid valinud DCA oksiiditehnoloogia. Komposiitpooljuht-MBE süsteeme kasutatakse üle maailma. HL Cryogenic Equipmenti (HL CRYO) VJ vedela lämmastiku tsirkulatsioonisüsteemil ja mitme DCA mudeli MBE seadmel on sobitamise kogemus paljudes projektides, nagu mudel P600, R450, SGC800 jne.