Uudised - Viimastel aastatel valminud kiibi MBE projekt

Tehnoloogia

Molekulaarkiirepitaksia ehk MBE on uus meetod kvaliteetsete õhukeste kristallikilede kasvatamiseks kristallsubstraatidel. Ülikõrges vaakumis varustatakse kuumutusahi kõigi vajalike komponentidega ja tekitatakse aur, mis kollimeeriva aatom- või molekulaarkiire abil moodustatud aukude kaudu suunatakse otse monokristalli substraadile sobiva temperatuurini, kontrollides samal ajal molekulaarkiire liikumist substraadile ja skaneerides seda, mis võimaldab molekulidel või aatomitel kristalli joondamisel moodustada substraadile õhukese kile.

MBE-seadmete normaalseks tööks on vaja pidevalt ja stabiilselt transportida seadme jahutuskambrisse kõrge puhtusastmega, madala rõhuga ja ülipuhast vedelat lämmastikku. Üldiselt on vedelat lämmastikku pakkuva paagi väljundrõhk vahemikus 0,3 MPa kuni 0,8 MPa. -196 ℃ juures olev vedel lämmastik aurustub torujuhtme transportimisel kergesti lämmastikuks. Kui vedel lämmastik gaasi-vedeliku suhtega umbes 1:700 on torujuhtmes gaasistatud, hõivab see suure osa vedela lämmastiku vooluruumist ja vähendab vedela lämmastiku torujuhtme lõpus normaalset voolu. Lisaks on vedela lämmastiku mahutis tõenäoliselt puhastamata prahti. Vedela lämmastiku torujuhtmes põhjustab märg õhk ka jääpuru teket. Kui need lisandid satuvad seadmesse, põhjustab see seadmetele ettearvamatuid kahjustusi.

Seetõttu transporditakse välistingimustes asuvas mahutis olev vedel lämmastik tolmuvabas töökojas MBE-seadmetesse suure efektiivsuse, stabiilsuse ja puhtusega ning madala rõhu, lämmastiku ja lisanditeta, 24 tundi katkematult, selline transpordi juhtimissüsteem on kvalifitseeritud toode.

Sobivad MBE seadmed

Alates 2005. aastast on HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) seda süsteemi optimeerinud ja täiustanud ning teinud koostööd rahvusvaheliste MBE seadmete tootjatega. MBE seadmete tootjatel, sealhulgas DCA-l ja REBER-il, on meie ettevõttega koostöösuhted. MBE seadmete tootjad, sealhulgas DCA ja REBER, on teinud koostööd paljudes projektides.

Riber SA on juhtiv ülemaailmne molekulaarkiirepitaksia (MBE) toodete ja nendega seotud teenuste pakkuja pooljuhtide uurimiseks ja tööstuslikeks rakendusteks. Riber MBE seade suudab väga õhukesi materjalikihte aluspinnale sadestada väga kõrge juhtimisega. HL Cryogenic Equipmenti (HL CRYO) vaakumseadmed on varustatud Riber SA-ga. Suurim seade on Riber 6000 ja väikseim Compact 21. See on heas seisukorras ja klientide poolt tunnustatud.

DCA on maailma juhtiv oksiid-MBE. Alates 1993. aastast on süstemaatiliselt arendatud oksüdeerimistehnikaid, antioksüdantset substraadi kuumutamist ja antioksüdantide allikaid. Sel põhjusel on paljud juhtivad laborid valinud DCA oksiiditehnoloogia. Komposiitpooljuhtide MBE süsteeme kasutatakse kogu maailmas. HL Cryogenic Equipmenti (HL CRYO) VJ vedela lämmastiku tsirkulatsioonisüsteemil ja mitmete DCA mudelite MBE seadmetel on sarnane kogemus paljudes projektides, näiteks mudelitel P600, R450, SGC800 jne.