Molecular Beam Epitaxy (MBE) lühikirjeldus
Molecular Beam Epitaxy (MBE) tehnoloogia töötati välja 1950. aastatel pooljuht-õhukeste kilematerjalide valmistamiseks vaakumaurustustehnoloogia abil. Ülikõrgvaakumtehnoloogia arenguga on tehnoloogia rakendamine laienenud ka pooljuhtide teaduse valdkonda.
Pooljuhtmaterjalide uurimise ajendiks on nõudlus uute seadmete järele, mis võivad parandada süsteemi jõudlust. Uus materjalitehnoloogia võib omakorda toota uusi seadmeid ja uut tehnoloogiat. Molecular beam epitaxy (MBE) on kõrgvaakumtehnoloogia epitaksiaalse kihi (tavaliselt pooljuhtide) kasvatamiseks. See kasutab lähteaatomite või molekulide soojuskiirt, mis mõjutab monokristalli substraati. Protsessi ülikõrged vaakumiomadused võimaldavad in situ metalliseerimist ja isolatsioonimaterjalide kasvatamist äsja kasvanud pooljuhtpindadel, mille tulemuseks on saastevabad liidesed.
MBE tehnoloogia
Molekulaarkiire epitaksia viidi läbi kõrgvaakumis või ülikõrges vaakumis (1 x 10-8Pa) keskkond. Molekulaarkiire epitaksia kõige olulisem aspekt on selle madal sadestumise kiirus, mis tavaliselt võimaldab kile epitaksiaalset kasvu kiirusega alla 3000 nm tunnis. Nii madal sadestuskiirus nõuab piisavalt kõrget vaakumit, et saavutada sama puhtuse tase kui teiste sadestusmeetodite puhul.
Ülalkirjeldatud ülikõrge vaakumi saavutamiseks on MBE seadmel (Knudseni rakk) jahutuskiht ja kasvukambri ülikõrge vaakumkeskkond tuleb säilitada vedela lämmastiku tsirkulatsioonisüsteemi abil. Vedel lämmastik jahutab seadme sisetemperatuuri 77 Kelvinini (−196 °C). Madala temperatuuriga keskkond võib veelgi vähendada lisandite sisaldust vaakumis ja luua paremad tingimused õhukeste kilede ladestumiseks. Seetõttu on MBE-seadmete jaoks vaja spetsiaalset vedela lämmastikuga jahutusringlussüsteemi, et tagada pidev ja püsiv -196 °C vedela lämmastiku tarnimine.
Vedela lämmastiku jahutuse tsirkulatsioonisüsteem
Vaakum vedela lämmastiku jahutusringlussüsteem sisaldab peamiselt
● krüogeenne paak
● põhi- ja haru-vaakumkattega toru / vaakumkattega voolik
● MBE spetsiaalne faasieraldaja ja vaakumkattega väljalasketoru
● mitmesugused vaakumkattega ventiilid
● gaasi-vedeliku barjäär
● vaakumkattega filter
● dünaamiline vaakumpumbasüsteem
● Eeljahutus- ja puhastussoojendussüsteem
HL Cryogenic Equipment Company on märganud nõudlust MBE vedela lämmastiku jahutussüsteemi järele, organiseeritud tehnilise selgroo, et edukalt välja töötada spetsiaalne MBE vedela lämmastiku jahutussüsteem MBE tehnoloogia jaoks ja täielik vaakumisolatsiooni komplekt.edtorusüsteem, mida on kasutatud paljudes ettevõtetes, ülikoolides ja uurimisinstituutides.
HL krüogeensed seadmed
HL Cryogenic Equipment, mis asutati 1992. aastal, on Hiinas asuva Chengdu Holy Cryogenic Equipment Companyga seotud kaubamärk. HL Cryogenic Equipment on pühendunud kõrgvaakumiga isoleeritud krüogeense torusüsteemi ja sellega seotud tugiseadmete projekteerimisele ja valmistamisele.
Lisateabe saamiseks külastage ametlikku veebisaitiwww.hlcryo.comvõi e-posti aadressileinfo@cdholy.com.
Postitusaeg: mai-06-2021
