Lühike molekulaarkiire epitaksiast (MBE)
1950ndatel töötati välja molekulaarkiire epitaksia (MBE) tehnoloogia, et valmistada pooljuhtide õhukeseid kilematerjale, kasutades vaakum aurustumistehnoloogiat. Ultra-kõrge vaakumtehnoloogia arendamisega on tehnoloogia rakendamine laiendatud pooljuhtide teaduse valdkonda.
Pooljuhtmaterjalide uurimise motivatsioon on nõudlus uute seadmete järele, mis võib süsteemi jõudlust parandada. Uus materjalitehnoloogia võib omakorda toota uusi seadmeid ja uut tehnoloogiat. Molekulaarkiire epitaksia (MBE) on epitaksiaalse kihi (tavaliselt pooljuht) kasvu vaakumtehnoloogia. See kasutab allikaaatomite või molekulide soojuskiirit, mis mõjutab üksikuid kristalle substraati. Protsessi ülikõrgete vaakumomadused võimaldavad äsja kasvatatud pooljuhtide pindadel isoleermaterjalide metalliseerumist ja kasvu, mille tulemuseks on reostusvabad liidesed.
MBE tehnoloogia
Molekulaarkiire epitaksia viidi läbi kõrge vaakumi või ülikõrge vaakumiga (1 x 10-8Pa) keskkond. Molekulaarkiire epitaksia kõige olulisem aspekt on selle madal sadestumiskiirus, mis tavaliselt võimaldab kilel epitaksiaalseks kasvada kiirusega alla 3000 nm tunnis. Selline madal sadestumiskiirus nõuab piisavalt kõrget vaakumit, et saavutada sama puhtuse tase kui teiste ladestumismeetodite.
Ülalkirjeldatud ülikõrge vaakumi täitmiseks on MBE-seadmel （KNUDSEN CEGH） jahutuskiht ja kasvukambri ülimahtlik vaakumkeskkond tuleb säilitada vedela lämmastiku ringlussüsteemi abil. Vedel lämmastik jahutab seadme sisetemperatuuri 77 Kelvini (–196 ° C). Madala temperatuuriga keskkond võib veelgi vähendada vaakumis sisalduvate lisandite sisaldust ja pakkuda paremaid tingimusi õhukeste kilede sadestumiseks. Seetõttu on MBE -seadme jaoks vajalik spetsiaalne vedela lämmastiku jahutusringlussüsteem, mis tagaks pideva ja ühtlase tarne -196 ° C vedela lämmastiku.
Vedela lämmastiku jahutusringluse süsteem
Vaakumvedeliku lämmastiku jahutusringluse süsteem hõlmab peamiselt,
● krüogeenne paak
● Pea- ja haru vaakum -jopetoru / vaakumjakiga voolik
● MBE spetsiaalne faasieraldaja ja vaakumkattega väljalasketoru
● Erinevad vaakumjakiga ventiilid
● Gaasi-vedelik barjäär
● Vaakumjakiga filter
● Dünaamiline vaakumpumba süsteem
● eel- ja puhastussüsteem
HL -krüogeense varustuse ettevõte on märganud MBE vedela lämmastiku jahutussüsteemi nõudlust, korraldanud tehnilist selgroogu, et edukalt välja töötada MBE -tehnoloogia spetsiaalne MBE Lämmastiku jahutamise süsteem MBE tehnoloogia jaoks ja täielik vaakuminsulati komplektedTorustikusüsteem, mida on kasutatud paljudes ettevõtetes, ülikoolides ja teadusinstituutides.
HL krüogeensed seadmed
1992. aastal asutatud HL -krüogeensed seadmed on Hiinas Chengdu Püha krüogeense seadme ettevõttele seotud bränd. HL -krüogeensed seadmed on pühendunud kõrge vaakumiga isoleeritud krüogeense torustiku ja sellega seotud tugivarustuse kavandamisele ja tootmisele.
Lisateabe saamiseks külastage ametlikku veebisaitiwww.hlcryo.comvõi e -kiriinfo@cdholy.com.
Postiaeg: mai-06-2021
