Molekulaarkiirepitaksia (MBE) lühiülevaade
Molekulaarkiirepitaksia (MBE) tehnoloogia töötati välja 1950. aastatel pooljuhtõhukeste kilematerjalide valmistamiseks vaakumaurustamise tehnoloogia abil. Ülikõrge vaakumtehnoloogia arenguga on tehnoloogia rakendamine laienenud pooljuhtide teaduse valdkonda.
Pooljuhtmaterjalide uurimise motivatsiooniks on nõudlus uute seadmete järele, mis võivad parandada süsteemi jõudlust. Uus materjalitehnoloogia võib omakorda toota uusi seadmeid ja uut tehnoloogiat. Molekulaarkiirepitaksia (MBE) on kõrgvaakumtehnoloogia epitaksiaalkihi (tavaliselt pooljuhtide) kasvatamiseks. See kasutab lähteaatomite või -molekulide soojuskiirt, mis mõjutab monokristalli substraati. Protsessi ülikõrge vaakumi omadused võimaldavad isoleermaterjalide kohapealset metalliseerimist ja kasvatamist äsjakasvatatud pooljuhtide pindadel, mille tulemuseks on saastevabad piirpinnad.
MBE tehnoloogia
Molekulaarkiire epitaksia viidi läbi kõrgvaakumis või ülikõrge vaakumis (1 x 10-8Pa) keskkond. Molekulaarkiirepitaksia kõige olulisem aspekt on selle madal sadestamiskiirus, mis tavaliselt võimaldab kilel epitaksiaalselt kasvada kiirusega alla 3000 nm tunnis. Nii madal sadestamiskiirus nõuab piisavalt kõrget vaakumit, et saavutada sama puhtusaste kui teiste sadestamismeetodite puhul.
Ülalkirjeldatud ülikõrge vaakumi saavutamiseks on MBE-seadmel (Knudseni rakul) jahutuskiht ning kasvukambri ülikõrge vaakumi keskkonda tuleb hoida vedela lämmastiku tsirkulatsioonisüsteemi abil. Vedel lämmastik jahutab seadme sisetemperatuuri 77 kelvinini (−196 °C). Madala temperatuuriga keskkond võib veelgi vähendada vaakumis olevate lisandite sisaldust ja luua paremad tingimused õhukeste kilede sadestamiseks. Seetõttu on MBE-seadme jaoks vaja spetsiaalset vedela lämmastiku jahutustsirkulatsioonisüsteemi, et tagada pidev ja ühtlane -196 °C vedela lämmastiku varustamine.
Vedela lämmastiku jahutusringlussüsteem
Vaakumvedeliku lämmastiku jahutusringlussüsteem hõlmab peamiselt järgmist:
● krüogeenne paak
● vaakumkestaga pea- ja harutoru / vaakumkestaga voolik
● MBE spetsiaalne faasiseparaator ja vaakumkestaga väljalasketoru
● mitmesugused vaakumkestaga ventiilid
● gaasi-vedeliku barjäär
● vaakumkestaga filter
● dünaamiline vaakumpumba süsteem
● Eeljahutus- ja puhastussüsteem
HL Cryogenic Equipment Company on märganud MBE vedela lämmastiku jahutussüsteemi nõudlust ning on korraldanud tehnilise tugisamba, et edukalt välja töötada spetsiaalne MBE vedela lämmastiku jahutussüsteem MBE tehnoloogia jaoks ja täielik vaakumisolatsiooni komplekt.edtorustikusüsteem, mida on kasutatud paljudes ettevõtetes, ülikoolides ja teadusasutustes.
HL krüogeensed seadmed
HL Cryogenic Equipment asutati 1992. aastal ja on Hiinas asuva Chengdu Holy Cryogenic Equipment Companyga seotud kaubamärk. HL Cryogenic Equipment on pühendunud kõrgvaakumisolatsiooniga krüogeensete torustike ja nendega seotud tugiseadmete projekteerimisele ja tootmisele.
Lisateabe saamiseks külastage ametlikku veebisaitiwww.hlcryo.comvõi saatke e-kiri aadressileinfo@cdholy.com.
Postituse aeg: 06.05.2021
